Plus de 330 machines de lithographie à immersion en Chine début 2026, mais les Pays-Bas délivrent encore des licences au cas par cas

Un rapport du Center for Technology & Statecraft estime que les fabricants chinois détenaient plus de 330 scanners de lithographie DUV à immersion au premier trimestre 2026, dont environ 270 d’un seul modèle capable de produire des puces de classe 7 nm. Ses auteurs réclament une interdiction totale d’exporter ces machines vers la Chine, alors que les Pays-Bas continuent d’accorder des licences au cas par cas.

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Plus de 330 scanners à immersion, dont 270 d’un seul modèle

300 millions de dollars de serveurs d’IA routés vers la Chine sans licence, alors que les fabricants américains avaient une autre destination

Publié en septembre 2026 par le Center for Technology & Statecraft (CTS), groupe de réflexion basé à Washington, le rapport est signé par Nicholas Brown, ancien responsable du contrôle des exportations aux États-Unis, et Saif M. Khan, ancien conseiller de la Maison-Blanche et du département du Commerce. Il chiffre à « plus de 330 systèmes » le parc chinois de DUV à immersion (DUVi) au premier trimestre 2026. Tom’s Hardware, le South China Morning Post et le Seoul Economic Daily retiennent un total de 343 machines importées d’ASML depuis 2012, hors usines de groupes multinationaux implantées en Chine. Environ 270 sont des Twinscan NXT:1980i, soit 80 % du parc avancé selon le rapport.

Ce que le NXT:1980i permet de fabriquer, et à quel prix

Selon Tom’s Hardware, le NXT:1980i affiche une résolution de 38 nm et un recouvrement machine à machine de 2,5 nm. Ces caractéristiques le rendent exploitable, au prix de passages répétés dits de multipatterning, pour des nœuds de classe 7 nm, que l’industrie a adoptés en 2018 et 2019. Le CTS estime que les usines chinoises ont acheté environ 90 de ces machines en 2024 et 89 en 2025, pour plus de 11,9 milliards d’euros (13 milliards de dollars) sur deux ans. Le rapport identifie deux voies d’usage : l’achat direct par des usines capables de produire des puces d’IA, le fabricant de mémoire CXMT et le fondeur Hua Hong étant cités, ou le redéploiement ultérieur de machines livrées à des usines de puces anciennes.

Une estimation que les comptes d’ASML ne permettent pas de reconstituer

Les publications financières d’ASML, seul fournisseur de 99 % du marché du DUV à immersion devant Nikon, confirment l’ampleur de la demande chinoise : la Chine a pesé 41 % des ventes nettes de systèmes par destination d’expédition en 2024, 33 % en 2025, puis 19 % au premier trimestre 2026 et 14 % au deuxième. Tom’s Hardware pose toutefois une réserve explicite : les volumes de 90 et 89 machines avancés par le CTS ne peuvent pas être reconstitués de façon indépendante à partir de ces documents. ASML a vendu 129 systèmes ArFi dans le monde en 2024 et 131 en 2025 ; si l’estimation du CTS est exacte, les acheteurs chinois auraient absorbé 70 % puis 68 % de cette production mondiale, malgré les contrôles.

Des licences néerlandaises accordées machine par machine

Les Pays-Bas ont imposé une licence d’exportation pour les NXT:2000i et les modèles supérieurs en septembre 2023, puis étendu ce régime au NXT:1980i en septembre 2024. Des autorisations individuelles continuent d’être délivrées. Le rapport demande de remplacer ces contrôles partiels par une interdiction visant toute la Chine, y compris les machines d’ASML et de Nikon produites hors des États-Unis, au besoin de façon unilatérale via la règle du produit direct étranger ou la règle de minimis. Il réclame aussi l’interdiction, pour des ressortissants étrangers, d’assurer la maintenance des DUVi installés dans les usines chinoises de nœuds avancés, et des restrictions sur les optiques de projection Zeiss, les sources excimères ArF de forte puissance et les platines de précision. Le DUV sec resterait exportable pour les puces anciennes. Cette orientation rejoint le MATCH Act, proposition de loi bipartisane déposée en avril 2026.

0 % du chiffre d’affaires d’ASML en Europe au premier semestre 2026, contre 5 % en 2024 : le seul vendeur d’EUV réclame des acheteurs

434 millions d’équivalents H100 en 2035, un chiffre que les auteurs disent illustratif

Le CTS juge que la Chine ne commercialisera pas à grande échelle un DUVi capable de soutenir le 7 nm logique et la mémoire HBM avant le début ou le milieu des années 2030, et un EUV pas avant la seconde moitié de la décennie, « la lithographie avancée » étant « l’équipement le plus difficile à indigéniser ». Il évalue à 50 fois l’avance américaine et alliée dans la production de puissance de calcul pour l’IA en 2026. Selon les chiffres du rapport relayés par le Seoul Economic Daily, au rythme de 90 machines par an, la Chine pourrait produire jusqu’à 434 millions d’équivalents H100 par an d’ici 2035, contre environ 153 millions avec une interdiction totale entrée en vigueur en 2027. Les auteurs précisent que leurs estimations de rendement et de débit sont illustratives et non des mesures précises.