Gigaphoton a annoncé le 30 septembre 2026 un recycleur de néon pour lasers ArF crédité d’un taux de 50 %. L’entreprise japonaise annonçait déjà une baisse d’environ 50 % de la consommation de néon de ces mêmes lasers en août 2014, et un concurrent japonais revendique aujourd’hui plus de 90 % avec un appareil déjà raccordé à trois lasers dans une usine en production.
Une unité pour cinq lasers, 470 000 litres de néon en moins par an
Selon le communiqué publié depuis Oyama, dans la préfecture de Tochigi, le hTGM for ArF collecte et recycle le gaz usé à l’intérieur de l’usine de semi-conducteurs. Une seule unité peut être raccordée à cinq lasers ArF au maximum et réduire la consommation de gaz de jusqu’à 470 kilolitres par an, soit 470 000 litres, annonce Gigaphoton. L’entreprise met en avant une communauté de matériel avec le hTGM for KrF, déjà commercialisé, pour faciliter la montée en production. Ni prix, ni client, ni calendrier ne figurent dans le texte, et le taux de 50 % apparaît dans le titre du communiqué plutôt que dans son corps.
Tatsuo Enami, président-directeur général de Gigaphoton, y déclare : « En combinant des technologies qui réduisent la consommation de gaz des lasers excimères et des systèmes de recyclage de gaz sur site, Gigaphoton vise à atténuer les risques liés à l’approvisionnement en gaz rares, à soutenir la production stable de ses clients et à renforcer la résilience de la chaîne d’approvisionnement de l’industrie des semi-conducteurs. » Le communiqué invoque une balance offre-demande du néon « de plus en plus volatile en raison des risques géopolitiques et des perturbations des chaînes d’approvisionnement mondiales ».
Un taux de 50 % que l’entreprise annonçait déjà, autrement, en 2014
Le chiffre mis en titre n’est pas une première pour la maison. En août 2014, Gigaphoton présentait la fonction eTGM pour ses lasers ArF à immersion de la série GT, dans le cadre de son programme EcoPhoton : en optimisant les volumes de gaz injectés et purgés, elle réduisait d’environ 50 % la consommation de néon. Les deux chiffres ne mesurent pas la même chose, le premier étant une baisse de consommation et le second un taux de gaz récupéré, mais douze ans séparent les annonces. Selon Tom’s Hardware, Cymer avait démontré une récupération de 50 % dès 2015, et les essais de Gigaphoton laissaient entrevoir un pic supérieur à 90 % pour l’ArF en 2017.
Kanken Techno revendique plus de 90 % sur une installation en service
La comparaison la plus gênante vient d’un compatriote. Selon la fiche publiée par SEMICON Taiwan 2026, Kanken Techno y a présenté un recycleur de néon sur site revendiquant un taux supérieur à 90 % : un appareil raccordé à trois lasers ArF dans une usine de semi-conducteurs en fonctionnement, l’ensemble tournant de façon stable tout en recyclant le gaz de procédé en continu. L’entreprise se dit la première au monde à produire en série un tel système, en cours de certification chez les deux seuls fabricants mondiaux de lasers excimères. Aucun de ces taux revendiqués n’a fait l’objet d’une validation extérieure publiée.
| Élément annoncé | Gigaphoton hTGM for ArF | Kanken Techno |
|---|---|---|
| Taux de recyclage revendiqué | 50 % | Plus de 90 % |
| Lasers ArF par unité | Jusqu’à cinq | Trois, en usine |
| Néon économisé | 470 000 litres par an | Non communiqué |
| Stade | Développement annoncé | Série, certification en cours |
Le néon, verrou du DUV que l’EUV contourne
Selon Tom’s Hardware, la lithographie absorbe environ 70 % de l’usage mondial du néon, essentiellement dans les procédés DUV avancés. L’EUV y échappe : il produit sa lumière avec un plasma d’étain et n’a pas besoin de gaz rare. Le verrou se concentre donc sur les machines à immersion. Avant 2022, deux sociétés ukrainiennes, Ingas à Marioupol et Cryoin à Odessa, fournissaient de 45 à 54 % du néon de qualité semi-conducteur dans le monde, et environ 90 % de celui consommé aux États-Unis.
Quatre ans de rattrapage, et rien d’américain avant la fin de la décennie
Depuis, chacun a monté sa propre réponse, rapporte Tom’s Hardware. La Corée du Sud a lancé un programme national de récupération en usine, Taïwan a greffé des unités de purification sur les séparateurs d’air de ses hauts fourneaux, la Chine a adossé la purification du néon à sa base sidérurgique et pétrochimique. Les premiers systèmes qualifiés pour les lasers ArF de Cymer l’ont été fin 2023, et Samsung puis SK hynix ont été les premiers fabricants de mémoire à les déployer en 2024. Côté américain, les nouvelles unités de séparation d’air de la côte du Golfe ne doivent pas peser sensiblement sur l’approvisionnement avant la fin de la décennie.
