113,4 millions de transistors par mm² sans EUV, mais un tiers des bits par plaquette en mémoire : ce que coûte le multi-patterning chinois
Privée des machines EUV d’ASML par les contrôles à l’exportation, l’industrie chinoise des semi-conducteurs atteint bien les densités des nœuds avancés en multipliant les expositions sur des machines à immersion 193 nm. Mais au-delà de quatre masques, l’EUV redevient moins cher, et Morgan Stanley chiffre l’écart en mémoire : un tiers des bits par plaquette. ... Voir l'article
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